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空气清洁装置和空气净化单元检查方法制造方法及图纸
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文档序号:16045129
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本发明提供一种空气清洁装置和空气净化单元检查方法。为了提供在空气清洁装置中,在通过过滤器供给清洁空气且吹出空气是层流的操作室中,能够测定空间内的尘埃数并可靠地发现其增加的装置结构和空气净化单元检查方法,空气清洁装置包括:空气净化单元;配置在...
该专利属于株式会社日立产机系统所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立产机系统授权不得商用。
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