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半导体热电偶和传感器制造技术
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文档序号:16040301
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提供一种“片上”或单片集成热电偶,所述热电偶使用不同厚度的热绝缘体在集成电路内产生热差。施加至金属化层(334)的热被传递通过其他金属化层(328、314‑1)以及通路(330、322、310‑1)到传导层(306‑1),所述传导层(306...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。
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