下载一种超低正向电压整流器芯片的制备方法的技术资料

文档序号:16040227

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本发明提供了一种超低正向电压整流器芯片的制备方法,涉及整流器技术领域。所述制备方法包括如下步骤:原硅片清洗;排纸源;预沉积;磷分片;第一次喷砂;磷源再推进;去氧化层;涂硼;硼扩散;硼分片;第二次喷砂;氧化;匀胶、曝光;沟槽腐蚀;玻璃钝化;镀...
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