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本发明涉及光学设备领域,公开了一种多光谱混合波合束光源与曝光机,其中光源包括第一光源、第二光源与光源合束镜,光源合束镜设于第一光源与第二光源所射出的光束的相交处,其可对第一光源射出的第一光束进行折射,以及对第二光源射出的第二光束进行反射,第...该专利属于深圳市海目星激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市海目星激光科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及光学设备领域,公开了一种多光谱混合波合束光源与曝光机,其中光源包括第一光源、第二光源与光源合束镜,光源合束镜设于第一光源与第二光源所射出的光束的相交处,其可对第一光源射出的第一光束进行折射,以及对第二光源射出的第二光束进行反射,第...