下载一种表面微结构的制备方法及制备的微结构的技术资料

文档序号:16037101

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种表面微结构的制备方法,包括:(1)制备微结构模板,微结构模板为多孔硅模板,制备过程包括:在单抛硅表面依次镀上SiO2和铝,其次进行铝的阳极氧化,随后在磷酸溶液中进行扩孔,最后将多孔层微结构转移至硅片表面,去除氧化多孔层后即得...
该专利属于湖北知本信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北知本信息科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。