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本发明公开了一种基于静电刚度调制机理的微型谐振式电荷传感器及其方法。传感器中设有电荷输入极板、驱动叉指电极、感应叉指电极、振动音叉、锚端和绝缘基底；振动音叉的端点分别与锚端连接；驱动叉指电极的叉指端与振动音叉上的驱动叉指耦合；感应叉指电极的...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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