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一种测量薄膜导热系数的装置制造方法及图纸
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下载一种测量薄膜导热系数的装置的技术资料
文档序号:16035879
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本发明涉及材料领域,一种测量薄膜导热系数的装置包括衬底、待测薄膜、位移台、光电二极管、可见光源、红外摄像机、透孔、计算机,衬底由铜制成并位于样品架,待测薄膜位于衬底上面,光电二极管连接位移台下侧,红外摄像机固定于衬底正上方且高于位移台,可见...
该专利属于金华职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过金华职业技术学院授权不得商用。
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