下载一种基于电容边缘效应的力矩传感器的技术资料

文档序号:16035183

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本发明公开了一种基于电容边缘效应的力矩传感器,它由传感器外圈、梯形梁、传感器内圈、感应电容的动电极、感应电容的静电极和基板组成。其中,感应电容的静电极与基板连接并垂直感应电容的动电极,位于感应电容的动电极最外端,且感应电容的静电极沿传感器轴...
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