下载用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的冷却装置的技术资料

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一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的冷却装置,包括设在多晶铸锭炉下炉体中的冷却散热板,在冷却散热板的中心处设有测温取样孔,在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道,冷却管道设有一个进口和一个出口,在冷却散热板的下表面四周设有与下炉体相接的防护板Ⅰ,...
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