下载半导体级硅单晶炉籽晶夹头装置及其应用的技术资料

文档序号:16030779

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本发明提供了一种半导体级硅单晶炉籽晶夹头装置及其应用,它由籽晶安装端、软轴安装端、过渡配重端组成;籽晶安装端主要用于拆卸和更换籽晶;软轴安装端主要用于与软轴紧固连接;过渡配重端主要用于连接籽晶安装端与软轴安装端,通过螺纹连接起定位、串接和配...
该专利属于南京晶能半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京晶能半导体科技有限公司授权不得商用。

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