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用气体处理物体的方法及其反应设备技术
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文档序号:1602955
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一种用气体处理物体的方法,包括: 放入步骤,将物体放入充满处理气体的气密密封处理区; 处理步骤,按需要的时间在处理区气体氛围中要求的位置对放入物体进行气体处理; 卸下步骤,在处理步骤后从处理区取出已处理的物体;以及 ...
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