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本实用新型涉及晶硅太阳能电池生产设备，旨在提供一种带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔。该进料腔呈中空状，在底部设有多条气道，各气道的一端在进料腔底部中央交汇互通形成中心出口；各气道的另一端则均匀分布在进料腔底部的四周，且仅在该端部设置连...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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