下载一种砷化镓废料分离回收装置的技术资料

文档序号:16013602

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本实用新型提供一种砷化镓废料分离回收装置,该装置包括上料机构、加热炉、真空泵组和冷凝器;其中,所述上料机构包括支撑臂、上料托臂和导轨;所述加热炉包括前门法兰组件、炉腔,所述炉腔包括依次相连的加热区域内石英管腔、冷却区域内的冷却腔以及取料腔;...
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