下载一种直写式曝光机用双分镜头的技术资料

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本实用新型涉及激光曝光技术,具体涉及一种直写式曝光机用双分镜头。现有技术中,一个DMD只能输出一个扫描条带。本实用新型包括两组相互轴对称的棱镜组合,每组棱镜组合均由一个Y轴向导光棱镜、一个X轴向导光棱镜以及一个错位微调棱镜连接组成。图像光线...
该专利属于俞庆平所有,仅供学习研究参考,未经过俞庆平授权不得商用。

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