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半导体测试夹具以及使用该夹具的耐压测定方法技术
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文档序号:15980932
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本发明的目的在于提供能够不产生大气放电而廉价地对半导体芯片进行耐压测定的半导体测试夹具及使用了该夹具的耐压测定方法。本发明的半导体测试夹具具有:基座(1),配设有探针(3)和以在平面视图中包围探针(3)的方式设置绝缘物(2);下电极载置台(...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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