下载用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置及方法的技术资料

文档序号:15980383

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本发明涉及激光修复领域。本发明提供了一种用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置及方法,用于人为制备出熔石英光学元件的表面损伤,以供研究其修复过程,其技术方案可概括为:用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置,其特征在于,包括光学平台、二维平移台、...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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