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一种离子注入测试样品的制备方法及测试方法，所述制备方法包括：提供衬底以及凸出于衬底的鳍部；在鳍部之间的衬底上形成隔离结构，鳍部的一部分露出于隔离结构，为鳍部第一区域，另一部分位于隔离结构内，为鳍部第二区域；在鳍部第二区域内形成掺杂离子；在鳍...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。