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真空发生器装置制造方法及图纸
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文档序号:15978029
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本发明涉及一种真空发生器装置(3),具体涉及由压缩空气流驱动的真空发生器(3),其布置成将真空(VaC)供应至真空夹持器机构,其中,真空流体连接(1)与所述真空发生器(3)相关联且被布置成与所述真空夹持器机构流体连接(VaC),以便由于压缩...
该专利属于谢雷克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过谢雷克斯公司授权不得商用。
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