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本发明实施例提供了一种基于罗茨泵故障模式的真空系统性能退化测量方法，属于真空系统领域。所述方法包括：根据真空系统中罗茨泵工作模型以及所获取的罗茨泵的第一转子的轴承的第一磨损高度、第一转子的第二磨损高度以及第一转子的第三磨损高度确立真空容器内...
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