温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及用于差动梳形驱动MEMS的系统和方法。根据实施例，一种MEMS装置包括：可偏转薄膜，包括第一多个静电梳齿；第一锚定结构，包括与第一多个静电梳齿的第一子集交错的第二多个静电梳齿；和第二锚定结构，包括与第一多个静电梳齿的第二子集交错的...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。