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本发明提供一种晶砣切割方法,其步骤包括将该晶砣粘结在基板上得到晶砣磨削载体,然后对所述晶砣磨削载体依次进行研磨和线切割处理,得到晶砣切割体;其中,线切割处理步骤中所用到的切割液为由切割砂、水基切割液原液、防锈剂和纯水组成的水基游离磨料切割液...该专利属于济源石晶光电频率技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济源石晶光电频率技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种晶砣切割方法,其步骤包括将该晶砣粘结在基板上得到晶砣磨削载体,然后对所述晶砣磨削载体依次进行研磨和线切割处理,得到晶砣切割体;其中,线切割处理步骤中所用到的切割液为由切割砂、水基切割液原液、防锈剂和纯水组成的水基游离磨料切割液...