下载单晶炉的技术资料

文档序号:15953652

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本实用新型公开了一种单晶炉,其包括保温桶、坩埚和下保温层,所述保温桶环绕在所述坩埚外侧,所述下保温层设置于所述坩埚的下方;所述保温桶包括第一保温部和第二保温部,所述第一保温部和所述第二保温部具有同轴的圆柱内表面;所述第一保温部的内径小于所述...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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