下载微型气压动力装置的技术资料

文档序号:15952569

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一种微型气压动力装置,包括:微型流体控制装置,包括堆叠设置的进气板、共振片、压电致动器及集气板,其中集气板具有介于6mm至18mm之间的长度、介于6mm至18mm之间的宽度,共振片与压电致动器之间具有间隙形成的第一腔室,使压电致动器受驱动时...
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