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微型气压动力装置制造方法及图纸
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下载微型气压动力装置的技术资料
文档序号:15952569
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一种微型气压动力装置,包括:微型流体控制装置,包括堆叠设置的进气板、共振片、压电致动器及集气板,其中集气板具有介于6mm至18mm之间的长度、介于6mm至18mm之间的宽度,共振片与压电致动器之间具有间隙形成的第一腔室,使压电致动器受驱动时...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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