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本发明涉及一种光学测量台架装置，该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克‑哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题，并且具有一定范围的调节行程，兼容不同焦...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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