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文档序号:15936014
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本发明提供了一种用于使用具有在基体(3)和测量膜(5)之间设置的至少一个测量电容(CM)以及在所述基体(3)和所述测量膜(5)之间设置的至少一个基准电容(CR)的相对压力传感器来测定输出值(A)的方法,所述输出值等于压力(P)或是与所述压力...
该专利属于VEGA格里沙贝两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过VEGA格里沙贝两合公司授权不得商用。
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