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本发明公开了一种新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置，包括大理石平台和设置在大理石平台上的螺母夹持装置、X轴直线运动平台；所述螺母夹持装置上设置待测件，双频激光发生器发射出的激光经过光线分束器和光线直角反射镜后分别到达激光干涉仪，第一激光干涉...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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