下载多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法的技术资料

文档序号:15935575

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本发明公开了一种多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法,在PZT实现相移的多波长干涉测量中,由于PZT的非线性和迟滞性而带来的各波长测量起点位置不一致的问题,需要对相移起点位置进行对齐,现有方法起点对齐精度的不高,影响测量结果...
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