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离子束蚀刻方法和离子束蚀刻设备技术
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文档序号:15919927
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提供一种离子束蚀刻方法,由此可以在不会使装置大型化的情况下,即使在低入射角静止条件下也能够进行高度均一的IBE处理。该离子束蚀刻方法包括以下步骤:改变开口部相对于基板的位置;使用通过所述开口部的离子束来蚀刻所述基板;以及随着所述离子束入射到...
该专利属于佳能安内华股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佳能安内华股份有限公司授权不得商用。
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