下载制备具有改善的耐磨性的双层涂布的切割工具的方法的技术资料

文档序号:15917562

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一种制备涂布有硬涂层的工具的方法,所述方法包括以下步骤:采用第一磁控溅射工艺将TiAlN涂层施加到基体上和采用第二磁控溅射工艺将TixSi1‑xN涂层施加到所述TiAlN层上,其中x小于或等于0.85,优选在0.80至0.70之间,包括0....
该专利属于欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔;日立金属株式会社;三菱日立工具株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔;日立金属株式会社;三菱日立工具株式会社授权不得商用。

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