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本技术提供一种能够缩短对焦时间、提高显微扫描效率的显微扫描自动对焦补偿系统和方法。该对焦补偿系统，包括载物台，物镜，快速对焦模块和用于实时检测载物台位置的位置检测装置；快速对焦模块包括能够在z轴方向上伸长或缩短的z轴补偿压电陶瓷、向z轴补偿...
该专利属于南京东利来光电实业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京东利来光电实业有限责任公司授权不得商用。

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