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本发明公开了一种双层双端固支梁的力学参数测量方法，属于微机电系统(Micro‑Electro‑Mechanical System，简称MEMS)材料参数在线测试技术领域。本发明方法基于首次推导出的上下层不等宽双层双端固支梁的吸合电压解析模型...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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