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显示基板的制造方法及铜系金属膜用蚀刻液组合物技术
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下载显示基板的制造方法及铜系金属膜用蚀刻液组合物的技术资料
文档序号:15907886
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本发明涉及显示基板的制造方法及铜系金属膜用蚀刻液组合物。所述铜系金属膜用蚀刻液组合物相对于组合物总重量包含:过硫酸盐0.5~20重量%,氟化合物0.01~2重量%,无机酸0.1~10重量%,环状胺化合物0.1~5重量%,包含羧酸、二羧酸或三...
该专利属于东友精细化工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。
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