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本实用新型涉及一种基于溅射薄膜的薄膜应变计，有基底、薄膜应变计敏感栅、覆盖物保护膜及导引电信号的引出线组成。基底是一层厚度在100μm之内的聚酰亚胺薄膜，起到绝缘作用和传递应变作用；用于感知结构应变的敏感栅是一层金属薄膜镍铬合金，通过溅射薄...
该专利属于陕西电器研究所所有，仅供学习研究参考，未经过陕西电器研究所授权不得商用。

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