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本实用新型涉及一种由FFU组成的万级无尘室，它包括无尘室主体，在所述无尘室主体上至少设有一个FFU独立单元，所述FFU独立单元与无尘室主体活动连接，所述FFU独立单元包括FFU主机，在所述FFU主机前部设有过滤器，在所述FFU主机后部设有回...
该专利属于加宏科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过加宏科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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