下载一种沾污检测系统及检测方法的技术资料

文档序号:15893348

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本发明公开一种沾污检测系统及检测方法,包括:激光剥蚀机,对样品表面进行剥蚀,并将沾污以气溶胶形式提供给电感耦合等离子体质谱仪,或者化学液溶解单元;化学液溶解单元,利用腐蚀性液体溶解并收集所述激光剥蚀机所剥蚀的表面沾污,并将其浓缩于一个液体样...
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