专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
花王株式会社
>
研磨液组合物制造技术
>技术资料下载
下载研磨液组合物的技术资料
文档序号:1588358
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供能够高速研磨硅、玻璃、氧化物、氮化物、金属等被研磨底材和被加工膜,而且很少发生刮痕的研磨液组合物,使用该研磨液组合物的被研磨底材的研磨方法以及使用该研磨液组合物提高被研磨底材研磨速度的方法。研磨液组合物,在水系介质中含有聚合物粒子...
该专利属于花王株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过花王株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。