下载低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构的技术资料

文档序号:15879863

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本发明公开了一种低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构,由下至上依次包括GaAs基衬底、下N型布拉格反射镜、有源区、一对上P型布拉格反射镜、低电阻GaAs基隧道结、氧化限制层和上N型布拉格反射镜。本发明采用了将低电阻GaAs基隧...
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