下载一种CMOS图像传感器及其制作方法的技术资料

文档序号:15879536

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种CMOS图像传感器及其制作方法,包括:半导体衬底,形成于半导体衬底上的多个像素区域,形成于相邻像素区域之间半导体衬底中的深沟槽,在深沟槽中填充有掺杂第一导电类型杂质的多晶硅,在半导体衬底中对应像素区域内形成有多个具有第二导电类...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。