下载彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物的技术资料

文档序号:15878280

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本发明涉及彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物,其相对于组合物总重量,包含:季铵盐化合物1~15重量%、极性有机溶剂20~70重量%、亚烷基二醇烷基醚1~20重量%、选自下述化学式1~化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1~5重量%、无机碱或其...
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