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在C-方向错切小于+/-15度的m-平面基底上的半极性III-氮化物光电子装置制造方法及图纸
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下载在C-方向错切小于+/-15度的m-平面基底上的半极性III-氮化物光电子装置的技术资料
文档序号:15866753
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在GaN的错切上生成的光电子装置,其中所述错切包括在GaN的c‑方向且与GaN的m‑平面错切x度的(GaN的)半极性GaN晶体平面,其中‑15<x<‑1和1<x<15度。...
该专利属于加利福尼亚大学董事会所有,仅供学习研究参考,未经过加利福尼亚大学董事会授权不得商用。
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