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本实用新型公开了一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风。该麦克风芯片包括衬底、背极和振膜，背极和振膜分别构成电容器的两个电极，背极和振膜被悬置在衬底的上方，背极位于衬底和振膜之间，衬底具有背腔和支撑柱，支撑柱通过连接部与背腔的侧壁连接在一...
该专利属于歌尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔股份有限公司授权不得商用。

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