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本发明提供一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其中：阵列式固定电极为阵列式分布并通过布局连线构成，与吸合电极通过空气间隙相互绝缘并位于绝缘衬底上；柔性连接多平面式移动电极与连体蛇形弹簧相连，通过弹簧固定支座形成悬空可动结构，反向限位阻挡结...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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