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一种具有高品质因数的三维电感器结构制造技术
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文档序号:15864860
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本实用新型公开一种具有高品质因数的三维电感器结构。该三维电感器由多个元件单元构成,电感元件的输入输出端口位于基底顶部的金属层;元件单元包括位于基底顶部的金属层、两个圆环状的硅通孔阵列、位于基底底部的重新布局层;其中两个圆环状的硅通孔阵列左右...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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