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本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺，属于微纳米涂层技术领域，该工艺是在镀膜时，采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术；在N2与Ar的混合气氛下，通过电子束蒸发源蒸发Ti元素，形成传统的TiN薄膜，在沉积形成...该专利属于成都真锐科技涂层技术有限公司;成都天科精密制造有限责任公司;四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过成都真锐科技涂层技术有限公司;成都天科精密制造有限责任公司;四川大学授权不得商用。