下载基板搬送机构的吸嘴模组的技术资料

文档序号:15846195

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本实用新型公开了一种基板搬送机构的吸嘴模组,包括:模组滑轨、模组气缸、模组滑板、升降气缸、吸嘴固定板、吸嘴、负压气管、真空发生器和机架;所述模组滑轨和模组气缸固定在机架上,模组滑板可滑动的设在模组滑轨上,模组滑板与模组气缸的活塞杆连接,升降...
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