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本实用新型涉及扩散炉管内的石英舟承载器件，尤其是一种倾斜式石英舟托，包括载托体，所述载托体上设置有凸起，当石英舟放置在该载托体上时，石英舟的一端位于载托体上，另一端位于凸起上，石英舟与水平面倾斜，石英舟上的硅片在重力作用下，均朝向远离凸起的...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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