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本实用新型公开一种基板输送装置,涉及基板运输设备技术领域。为解决现有技术采用滚筒式输送机输送基板时容易造成基板磨损、划伤或变形的问题而发明。本实用新型的基板输送装置包括:输送平台;悬浮组件,所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一...该专利属于合肥欣奕华智能机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥欣奕华智能机器有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种基板输送装置,涉及基板运输设备技术领域。为解决现有技术采用滚筒式输送机输送基板时容易造成基板磨损、划伤或变形的问题而发明。本实用新型的基板输送装置包括:输送平台;悬浮组件,所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一...