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本发明公开了一种基于耦合光栅的荧光生物传感器及检测方法,所述硅基底设置于衬底的底部,所述传输波导连接在耦合光栅结构的一端,所述传输波导和耦合光栅结构分别设置在衬底的顶部,所述上包层包覆在衬底的顶部,所述微流通道设置在上包层的顶部,所述微流通...该专利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第三十八研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种基于耦合光栅的荧光生物传感器及检测方法,所述硅基底设置于衬底的底部,所述传输波导连接在耦合光栅结构的一端,所述传输波导和耦合光栅结构分别设置在衬底的顶部,所述上包层包覆在衬底的顶部,所述微流通道设置在上包层的顶部,所述微流通...