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一种压入式孔压传感器制造技术
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下载一种压入式孔压传感器的技术资料
文档序号:15838859
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本发明公开了一种压入式孔压传感器,涉及传感器设计技术领域。该传感器包括:锥体、导水孔、透水石、差压式扩散硅式压力传感器、导气管、放大器和数据采集单元;导水孔设置在锥体顶面上;透水石和差压式扩散硅式压力传感器将导水孔密封;差压式扩散硅式压力传...
该专利属于西北大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北大学授权不得商用。
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