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本发明提供一种新型多功能传感器芯片及其制备方法，包括硅基衬底，以及设于硅基衬底上的氧化硅绝缘层、温度传感器、C...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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